洁净工作台应用范围和特点
2021-11-24
按照国际标准ISO 14644-2对洁净室或洁净设备进行检验(Certify)或验证(Verify),或是按照国际标准ISO 14644-2对洁净室的运行状态进行定期监测。至于测试状态则根据需要和洁净室实际占有情况决定,可能是空态、静态和动态中的一种。
国家标准GB 50073-2001与国际标准ISO 14644的上述规定是统一的。
如前所述,通常“空态”适用于新建或新改造的洁净室,完成“空态”下的测试后,再在“静态”或“动态”下进行达标测试。
测试前应验证洁净室或洁净区的各个方面设施都是完备的,而且运行正常,符合设计的技术性能要求。预测试工作一般包括:
1、空气流量或风速测试;
2、空气压差测试;
3、隔断结构气密性测试;
4、已安装好的过滤器检漏测试。
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