洁净室定义标准分类及维保

洁净室定义标准分类及维保

  洁净室是指去除一定空间内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，以及室内温度、洁净度、室内压力、风速和气流分布、噪声振动和照明、静电等。 控制在一定的要求范围内，并给予专门设计的房间，无尘室又称为无尘室或无尘室，无论外界空气条件如何变化，室内均能保持原有设定要求的洁净度， 温湿度和压力等性能特征。

  无尘室最重要的作用是控制产品（如硅片等）接触的气氛的洁净度和温湿度，使产品在良好的环境空间内生产制造。 我们称这个空间为洁净室。 洁净室主要分为湍流洁净室、层流洁净室和复合洁净室。

  1、湍流洁净室：

  空气从空调箱通过洁净室内的风管和空气过滤器（hepa）进入洁净室，从洁净室两侧的隔墙板或高架地板返回空气。 漩涡状态。 这种类型使用干洁净室等级 1.000-100.000。
  优点：结构简单，系统建设成本低，洁净室扩容容易，在一些专用场所可与无尘工作台配套使用，提高洁净室等级。 缺点：湍流产生的细小粉尘颗粒在室内空间漂浮时不易排出，易污染工艺产品。 此外，如果系统关闭并重新启动，通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

  2、层流洁净室：

  层流气流运动成一条均匀的直线。 空气通过过滤器以100%的覆盖率进入室内，通过活动地板或两侧的隔墙返回空气。 该型适用于干式无尘室等级要求较高的环境。 一般其洁净室等级为class1~100。 其类型可分为两种：

  (1)水平层流式：水平风从过滤器的一个方向吹出，由对面墙上的回风系统返回，粉尘随风向排出室外，污染一般在 下游侧。

  优点：结构简单，运行后能在短时间内稳定。
  缺点：造价高于湍流式，室内空间不易扩展。

  (2)垂直层流式：房间的天花板完全覆盖upa过滤器，空气从上到下吹出，以获得更高的洁净度。 过程中或工作人员产生的粉尘可迅速排出室外，不影响其他工作区域。

  优点：易于管理，开始运行后可在短时间内达到稳定状态，不易受运行状态或操作人员的影响。

  缺点:构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。